В данном контексте правильно: «размещено внутри полости устройства».
Предпочтительно: внутрь. Вариант вовнутрь разговорно-просторечный.
Корректный вариант: забраться внутрь. Наречие вовнутрь носит разговорный характер, имеет сниженную стилистическую окраску.
Следует писать слитно.
Из рекомендаций Письмовника: Употребление косвенных падежных форм местоимений он, она, оно, они с начальным Н обязательно после большинства предлогов, факультативно после некоторых предлогов. Поэтому оба варианта возможны.
Приставка внутри... пишется слитно: внутривагонный, внутриконтейнерный.
Если далее следует придаточная часть предложения, то нужно поставить запятую перед союзом "как".
Можно использовать двойное подчеркивание: весь деепричастный оборот подчеркнуть как обстоятельство, а обособленное определение в его составе — еще и как определение.
