сверхмерный
СВЕРХМЕ́РНЫЙ \\ [с]верхме́рный и допуст. устарелое [с’]верхме́рный; св[ие]рхме́рный и св[е]рхме́рный; све[рх]ме́рный.
сверхмодный
СВЕРХМО́ДНЫЙ \\ [с]верхмо́дный и допуст. устарелое [с’]верхмо́дный; св[ие]рхмо́дный и св[е]рхмо́дный.
сверхмощный
СВЕРХМО́ЩНЫЙ \\ [с]верхмо́щный и допуст. устарелое [с’]верхмо́щный; св[ие]рхмо́щный и св[е]рхмо́щный; сверхмо́[ш’]ный (! неправ. сверхмо́[ш]ный).
сверхсметный
СВЕРХСМЕ́ТНЫЙ \\ [с]верхсме́тный и допуст. устарелое [с’]верхсме́тный; св[ие]рхсме́тный и св[е]рхсме́тный; све[рхс]ме́тный и допуст. старш. све[рхс’]ме́тный.