Нужны запятые: Предоставление субсидий на приобретение оборудования в целях создания, и (или) развития, и (или) модернизации производства товаров.
Такие конструкции требуют правки: меньше заданной величины или равно ей.
Слово нелюди обычно употребляется в форме множественного числа. Если необходимо согласование в единственном числе, нужно согласовывать по мужскому роду: почувствовала себя каким-то нелюдем.
В исторических документах есть оба названия.
Приставка супер... пишется слитно: суперистребитель.
Это сочетание пишется строчными. Можно писать его в кавычках и без кавычек (написание пока неустоявшееся).
Возможны оба варианта.
Корректно: КамАЗ-6522, МАЗ-541.
Поскольку одно из подлежащих имеет форму множественного числа, верно: Главный технолог или лица, его замещающие, лично выводят персонал из помещений.
Следует писать строчными буквами.
