электровакуумный
ЭЛЕКТРОВА́КУУМНЫЙ, может произноситься с дополнительным ударением: элѐктрова́куумный \\ [э]лектрова́куумный и [ие]лектрова́куумный; э[л’е]ктрова́куумый и э[л’ие]ктрова́куумный; электрова́к[у]мный.
электровакуумный
ЭЛЕ́КТРОВА́КУУМНЫЙ, -ая, -ое. Техн. Основанный на прохождении электрического тока в вакуумной среде. Э-ые приборы.