СВЧ [эсвэче́], нескл., ж. и неизм. (сокр.: сверхвысокая частота, сверхвысокочастотный)
СВЧ ли́ния переда́чи, СВЧ ли́нии переда́чи
Ответы справочной службы
При произношении инициальных аббревиатур ударение, как правило, падает на последний слог: ЕГЭ́, ГИА́, ФИФА́, ЕИ́РЦ, ФАНО́. Если аббревиатура произносится по названиям букв, то этот слог обычно представляет собой название последней буквы аббревиатуры: ЖКХ [жэ-ка-ха́], СВЧ [эс-вэ-че́], ВДНХ [вэ-дэ-эн-ха́], ОЛРС [о-эл-эр-э́с].
Ударение в иноязычных аббревиатурах, не имеющих дословной расшифровки, нужно проверять по словарю: НА́ТО, ЮНЕ́СКО.
В «Словаре аббревиатур иноязычного происхождения» Л. А. Барановой (М., 2009) зафиксирована лишь одна из интересующих Вас аббревиатур: EBITDA [и-би-ай-ти-ди-э́й].
Корректно: интегральные схемы СВЧ-диапазона.
Корректно написание с дефисом.
Справочники
В чем разница между аббревиатурой и сокращением? Слово аббревиатура переводится на русский язык с итальянского как 'сокращение' (abbreviatura, от лат. brevis 'краткий'), с XVIII века по начало XX века это слово употреблялось в исходном, этимологическом значении, о чем свидетельствует, например, толкование этого слова в словаре Флорентия Павленкова: аббревиатура – 'сокращение в письме и печати' (Словарь иностранных слов, вошедших в состав русского языка. 1907).
...название последней буквы аббревиатуры: ЖКХ [жэ-ка-ха́], СВЧ...
