сверхточный
СВЕРХТО́ЧНЫЙ \\ [с]верхто́чный и допуст. устарелое [с’]верхто́чный; св[ие]рхто́чный и св[е]рхто́чный; сверхто́[ч’]ный.
сверхмощный
СВЕРХМО́ЩНЫЙ \\ [с]верхмо́щный и допуст. устарелое [с’]верхмо́щный; св[ие]рхмо́щный и св[е]рхмо́щный; сверхмо́[ш’]ный (! неправ. сверхмо́[ш]ный).
сверхличный
СВЕРХЛИ́ЧНЫЙ \\ [с]верхли́чный и допуст. устарелое [с’]верхли́чный; св[ие]рхли́чный и св[е]рхли́чный; све[рх]ли́чный; сверхли́[ч’]ный.