| Падеж | Единственное число | Множественное число | ||
|---|---|---|---|---|
| мужской род | женский род | средний род | ||
| именительный | субмикро́нный | субмикро́нная | субмикро́нное | субмикро́нные |
| родительный | субмикро́нного | субмикро́нной | субмикро́нного | субмикро́нных |
| дательный | субмикро́нному | субмикро́нной | субмикро́нному | субмикро́нным |
| винительный c одуш. сущ. | субмикро́нного | субмикро́нную | субмикро́нное | субмикро́нных |
| винительный c неодуш. сущ. | субмикро́нный | субмикро́нную | субмикро́нное | субмикро́нные |
| творительный | субмикро́нным | субмикро́нной | субмикро́нным | субмикро́нными |
| предложный | субмикро́нном | субмикро́нной | субмикро́нном | субмикро́нных |
