| Падеж | Единственное число | Множественное число |
|---|---|---|
| именительный | микрошли́ф | микрошли́фы |
| родительный | микрошли́фа | микрошли́фов |
| дательный | микрошли́фу | микрошли́фам |
| винительный | микрошли́ф | микрошли́фы |
| творительный | микрошли́фом | микрошли́фами |
| предложный | микрошли́фе | микрошли́фах |
