| Падеж | Единственное число | Множественное число | ||
|---|---|---|---|---|
| мужской род | женский род | средний род | ||
| именительный | эпитаксиа́льный | эпитаксиа́льная | эпитаксиа́льное | эпитаксиа́льные |
| родительный | эпитаксиа́льного | эпитаксиа́льной | эпитаксиа́льного | эпитаксиа́льных |
| дательный | эпитаксиа́льному | эпитаксиа́льной | эпитаксиа́льному | эпитаксиа́льным |
| винительный c одуш. сущ. | эпитаксиа́льного | эпитаксиа́льную | эпитаксиа́льное | эпитаксиа́льных |
| винительный c неодуш. сущ. | эпитаксиа́льный | эпитаксиа́льную | эпитаксиа́льное | эпитаксиа́льные |
| творительный | эпитаксиа́льным | эпитаксиа́льной | эпитаксиа́льным | эпитаксиа́льными |
| предложный | эпитаксиа́льном | эпитаксиа́льной | эпитаксиа́льном | эпитаксиа́льных |
