Нужны запятые: Предоставление субсидий на приобретение оборудования в целях создания, и (или) развития, и (или) модернизации производства товаров.
Запятые не нужны.
Возможны два варианта в зависимости от смысла. На сколько означает 'на какое количество граммов или килограммов', а насколько – 'в какой мере'.
Правильно с ни.
Этот прием называется силлепс.
http://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%A1%D0%B8%D0%BB%D0%BB%D0%B5%D0%BF%D1%81
Запятую нужно перенести. Она должна стоять после сочетания в части — для обособления причастного оборота. Обратите внимание: мероприятие можно провести, но вряд ли его можно выполнить.
В предложении "Просьба исключить опоздания" запятая после слова "просьба" не требуется.
Запятая не нужна. Стилистически некрасиво: в целях создания... создать.