Вероятно, лучше всего: через банкомат, с помощью банкомата.
Корректно: акт об оказании услуг.
Возможные варианты: услуги монтажа и услуги по монтажу.
Если слова по сути употреблены в значении "в целом", то запятая не ставится. В значении "в сущности говоря" эти слова могут рассматриваться как вводные и обособляться.
Корректно: тариф на услугу.
Сочетание некорректно. Можно сказать: услуги высококвалифицированных специалистов.
Правильно: оплата услуг, плата за услуги.